Zylinderförmiges Titanreines Zirkonium-Material des spritzenziel-TA1

Aputtering Ziel des Titans des Durchmessers 60/65/95/100*30/32/40/45mm

Kundengebundenes Titanziel-rundes Titanziel

Normalerweise versehen wir ein Qualitätsabnahmeprüfprotokoll so mit den Waren,

welches die chemische Zusammensetzung und die physikalischen Eigenschaften zeigt

Quadratisches Titanziel der Versorgung, rundes Titanziel, speziell-förmiges Titanziel

Reinheit ist einer der Hauptleistungsindikatoren des Ziels,

weil die Reinheit des Ziels einen großen Einfluss auf die Leistung des Dünnfilms hat.

Die Hauptleistungsanforderungen des Ziels:
Reinheit
Reinheit ist einer der Hauptleistungsindikatoren des Ziels, weil die Reinheit des Ziels einen großen Einfluss auf die Leistung des Dünnfilms hat. Jedoch in den praktischen Anwendungen, sind die Anforderungen für die Reinheit des Ziels nicht die selben. Zum Beispiel mit der schnellen Entwicklung der Mikroelektronikindustrie, ist die Größe der Siliziumscheibe von 6", 8" bis 12" entwickelt worden, und die Breite der Verdrahtung ist von 0.5um zu 0.25um, 0.18um oder sogar 0.13um verringert worden. Vorher war die Zielreinheit 99,995%. Sie kann die Prozessbedingungen von 0.35um IC erfüllen, während die Vorbereitung von Linien 0.18um 99,999% oder sogar 99,9999% für die Reinheit des Zielmaterials erfordert.
Störstellengehalt
Verunreinigungen in den Zielkörpern und Sauerstoff und Feuchtigkeit in den Poren sind die Hauptquellen der Verschmutzung für niedergelegte Filme. Ziele des unterschiedlichen Gebrauches haben verschiedene Anforderungen für unterschiedlichen Störstellengehalt. Zum Beispiel haben die Ziele der Reinaluminium- und Aluminiumlegierung, die in der Halbleiterindustrie benutzt werden, spezielle Anforderungen für Alkalimetallinhalt und Inhalt des radioaktiven Elements.
Dichte
Um die Poren im Zielkörper zu verringern und die Leistung des gespritzten Filmes zu verbessern, wird das Ziel normalerweise angefordert um ein miteres hoher Dichte zu haben. Die Dichte des Ziels beeinflußt nicht nur die Spritzenrate, aber auch die elektrischen und optischen Eigenschaften des Filmes. Das höher die Zieldichte, das besser die Leistung des Filmes. Darüber hinaus lässt die Erhöhung der Dichte und der Stärke des Ziels das Ziel Wärmebelastung während des Spritzens besser widerstehen. Dichte ist auch einer der Schlüsselleistungsindikatoren des Ziels.
Korngröße und Granulometrie
Normalerweise ist das Zielmaterial von der polykristallinen Struktur, und die Korngröße kann im Auftrag von Mikrometern zu den Millimeter sein. Für das gleiche Zielmaterial ist die Spritzenrate des Ziels mit feinen Körnern schneller als die des Ziels mit Grobkorn; während die Stärkeverteilung des Dünnfilms, der indem sie des Ziels mit kleinerem Korngrößeunterschied niedergelegt wird (einheitliche Verteilung) ist einheitlicher spritzt.