Цилиндрический титан брызгая материал циркония цели TA1 чистый

Цель титана диаметра 60/65/95/100*30/32/40/45mm aputtering

Подгонянная цель титана цели титана круглая

Обычно мы будем обеспечивать качественный отчет о проверке как это с товарами,

что показывает химический состав и физические свойства

Цель титана поставки квадратная, цель титана круглая, цель титана в форме особенн

Очищенность один из основных показателей эффективности цели,

потому что очищенность цели имеет большее влияние на представлении тонкого фильма.

Основные требования производительности цели:
очищенность
Очищенность один из основных показателей эффективности цели, потому что очищенность цели имеет большее влияние на представлении тонкого фильма. Однако, в практических применениях, требования для очищенности цели нет этих же. Например, с быстрым развитием индустрии микроэлектроники, размер кремниевой пластины был начат от 6", 8" до 12", и ширина проводки была уменьшена от 0.5um к 0.25um, 0.18um или даже 0.13um. Ранее, очищенность цели была 99,995%. Она может соотвествовать отростчатые 0.35um IC, пока подготовка линий 0.18um требует 99,999% или даже 99,9999% для очищенности материала цели.
Содержание примеси
Примеси в твердых телах цели и кислороде и влаге в порах основные источники загрязнения для депозированных фильмов. Цели различных польз имеют различные требования для различного содержания примеси. Например, чистый алюминий и цели алюминиевого сплава используемые в индустрии полупроводника имеют особенные требования для содержания щелочного металла и содержания радиоактивного элемента.
плотность
Уменьшить поры в твердом теле цели и улучшить представление брызганного фильма, необходима, что имеет цель обычно более высокую плотность. Плотность цели влияет на не только тариф брызгать, но также электрические и оптически свойства фильма. Высокий плотность цели, лучший представление фильма. К тому же, увеличение плотности и прочности цели позволяет цели лучше выдержать термальный стресс во время брызгать. Плотность также один из индикаторов ключевой производительности цели.
Размер зерна и распределение размера зерна
Обычно материал цели поликристаллической структуры, и размер зерна может находиться в заказе микрометров к миллиметрам. Для такого же материала цели, тариф брызгать цели с точными зернами более быстр чем эта из цели с грубыми зернами; пока распределение толщины тонкого фильма депозированного путем брызгать цели с более небольшой разницой в размера зерна (однородным распределением) более равномерно.