নলাকার টাইটানিয়াম স্পুটারিং টার্গেট TA1 বিশুদ্ধ জিরকোনিয়াম উপাদান

ব্যাস 60/65/95/100*30/32/40/45 মিমি টাইটানিয়াম আপুটারিং লক্ষ্য

কাস্টমাইজড টাইটানিয়াম টার্গেট টাইটানিয়াম রাউন্ড টার্গেট

সাধারণত আমরা পণ্যগুলির সাথে এর মতো একটি গুণমান পরিদর্শন প্রতিবেদন সরবরাহ করব,

যা রাসায়নিক গঠন এবং শারীরিক বৈশিষ্ট্য দেখায়

টাইটানিয়াম বর্গ লক্ষ্য, টাইটানিয়াম বৃত্তাকার লক্ষ্য, টাইটানিয়াম বিশেষ-আকৃতির লক্ষ্য সরবরাহ করুন

বিশুদ্ধতা লক্ষ্যের প্রধান কর্মক্ষমতা সূচকগুলির মধ্যে একটি,

কারণ লক্ষ্যের বিশুদ্ধতা পাতলা ফিল্মের কর্মক্ষমতার উপর একটি বড় প্রভাব ফেলে।

লক্ষ্যের প্রধান কর্মক্ষমতা প্রয়োজনীয়তা:
বিশুদ্ধতা
বিশুদ্ধতা লক্ষ্যের প্রধান পারফরম্যান্স সূচকগুলির মধ্যে একটি, কারণ লক্ষ্যের বিশুদ্ধতা পাতলা ফিল্মের কর্মক্ষমতার উপর একটি বড় প্রভাব ফেলে।যাইহোক, ব্যবহারিক প্রয়োগে, লক্ষ্যের বিশুদ্ধতার জন্য প্রয়োজনীয়তা একই নয়।উদাহরণস্বরূপ, মাইক্রোইলেক্ট্রনিক্স শিল্পের দ্রুত বিকাশের সাথে, সিলিকন ওয়েফারের আকার 6" 8" থেকে 12" পর্যন্ত উন্নত করা হয়েছে এবং তারের প্রস্থ 0.5um থেকে 0.25um, 0.18um বা 0.18um বা কমানো হয়েছে। এমনকি 0.13um। পূর্বে, লক্ষ্য বিশুদ্ধতা ছিল 99.995%। এটি 0.35um IC এর প্রক্রিয়ার প্রয়োজনীয়তা পূরণ করতে পারে, যখন 0.18um লাইনের প্রস্তুতির জন্য লক্ষ্য উপাদানের বিশুদ্ধতার জন্য 99.999% বা এমনকি 99.9999% প্রয়োজন।
অপবিত্রতা বিষয়বস্তু
টার্গেট সলিডের অমেধ্য এবং অক্সিজেন এবং ছিদ্রগুলিতে আর্দ্রতা জমা ফিল্মগুলির জন্য দূষণের প্রধান উত্স।বিভিন্ন ব্যবহারের লক্ষ্যে বিভিন্ন অশুদ্ধতা বিষয়বস্তুর জন্য বিভিন্ন প্রয়োজনীয়তা রয়েছে।উদাহরণস্বরূপ, সেমিকন্ডাক্টর শিল্পে ব্যবহৃত বিশুদ্ধ অ্যালুমিনিয়াম এবং অ্যালুমিনিয়াম খাদ লক্ষ্যগুলির ক্ষারীয় ধাতু সামগ্রী এবং তেজস্ক্রিয় উপাদান সামগ্রীর জন্য বিশেষ প্রয়োজনীয়তা রয়েছে।
ঘনত্ব
টার্গেট সলিডের ছিদ্র কমাতে এবং স্পুটারড ফিল্মের কর্মক্ষমতা উন্নত করার জন্য, টার্গেটের সাধারণত উচ্চ ঘনত্ব থাকা প্রয়োজন।লক্ষ্যের ঘনত্ব শুধুমাত্র স্পটারিং রেটকেই নয়, ফিল্মের বৈদ্যুতিক এবং অপটিক্যাল বৈশিষ্ট্যগুলিকেও প্রভাবিত করে।টার্গেট ডেনসিটি যত বেশি হবে, ফিল্মের পারফরম্যান্স তত ভালো হবে।উপরন্তু, টার্গেটের ঘনত্ব এবং শক্তি বৃদ্ধির ফলে টার্গেটকে স্পুটারিংয়ের সময় তাপীয় চাপকে আরও ভালভাবে সহ্য করার অনুমতি দেয়।ঘনত্ব টার্গেটের মূল কর্মক্ষমতা সূচকগুলির মধ্যে একটি।
শস্য আকার এবং শস্য আকার বন্টন
সাধারণত লক্ষ্যবস্তুটি পলিক্রিস্টালাইন কাঠামোর হয় এবং শস্যের আকার মাইক্রোমিটার থেকে মিলিমিটারের মধ্যে হতে পারে।একই লক্ষ্যবস্তুর জন্য, সূক্ষ্ম দানাযুক্ত লক্ষ্যের স্পুটারিং হার মোটা দানাযুক্ত লক্ষ্যমাত্রার চেয়ে দ্রুত;ছোট দানা আকারের পার্থক্য (অভিন্ন বন্টন) সহ লক্ষ্যের স্পুটারিং দ্বারা জমা হওয়া পাতলা ফিল্মের পুরুত্বের বন্টন আরও অভিন্ন।