99.999% উচ্চ বিশুদ্ধতা স্পুটারিং টাইটানিয়াম টার্গেট Gr1 এক্সপেরিমেন্টাল এলিমেন্টাল টাইটানিয়াম

টাইটানিয়াম লক্ষ্য 99.999% উচ্চ-বিশুদ্ধতা স্পুটারিং লক্ষ্য পরীক্ষামূলক প্রাথমিক টাইটানিয়াম

কাস্টমাইজড টাইটানিয়াম টার্গেট টাইটানিয়াম রাউন্ড টার্গেট

সাধারণত আমরা পণ্যগুলির সাথে এর মতো একটি গুণমান পরিদর্শন প্রতিবেদন সরবরাহ করব,

যা রাসায়নিক গঠন এবং শারীরিক বৈশিষ্ট্য দেখায়

টাইটানিয়াম বর্গ লক্ষ্য, টাইটানিয়াম গোল লক্ষ্য, টাইটানিয়াম বিশেষ আকৃতির লক্ষ্য

বিশুদ্ধতা লক্ষ্য কর্মক্ষমতা সূচক এক.

টার্গেট ম্যাটেরিয়ালের বিশুদ্ধতা ফিল্মের পারফরম্যান্সে দারুণ প্রভাব ফেলে।

লক্ষ্যগুলির জন্য প্রধান কর্মক্ষমতা প্রয়োজনীয়তা:

বিশুদ্ধতা

টার্গেটের বিশুদ্ধতা টার্গেটের প্রধান পারফরম্যান্স সূচকগুলির মধ্যে একটি কারণ লক্ষ্যের বিশুদ্ধতা চলচ্চিত্রের কর্মক্ষমতাকে ব্যাপকভাবে প্রভাবিত করে।যাইহোক, প্রকৃত অ্যাপ্লিকেশনে, লক্ষ্যবস্তুর বিশুদ্ধতার জন্য প্রয়োজনীয়তা একই নয়।উদাহরণস্বরূপ, মাইক্রোইলেক্ট্রনিক্স শিল্পের দ্রুত বিকাশের সাথে সিলিকন ওয়েফারের আকার 6 ", 8" থেকে 12 "তে প্রসারিত করা হয়েছিল, তারের প্রস্থ 0.5 um থেকে 0.25 um, 0.18 um, এবং 0.13 um করা হয়েছিল। পূর্বে, লক্ষ্য বিশুদ্ধতা ছিল 99.995%।

অপবিত্রতা বিষয়বস্তু

জমাকৃত ফিল্মের প্রধান উৎস হল লক্ষ্যবস্তু এবং ছিদ্রের অক্সিজেন এবং আর্দ্রতা।বিভিন্ন অ্যাপ্লিকেশানের লক্ষ্যে বিভিন্ন অশুদ্ধতা স্তরের জন্য বিভিন্ন প্রয়োজনীয়তা রয়েছে।উদাহরণস্বরূপ, সেমিকন্ডাক্টর শিল্পে ব্যবহৃত খাঁটি অ্যালুমিনিয়াম এবং অ্যালুমিনিয়াম অ্যালয়গুলির লক্ষ্যে ক্ষারীয় ধাতু সামগ্রী এবং তেজস্ক্রিয় উপাদান সামগ্রীর জন্য বিশেষ প্রয়োজনীয়তা রয়েছে।

ঘনত্ব

টার্গেট সলিডের ছিদ্র কমাতে এবং ছিদ্রযুক্ত ফিল্মের কর্মক্ষমতা উন্নত করতে, লক্ষ্যগুলি সাধারণত আরও ঘন হওয়া দরকার।লক্ষ্য ঘনত্ব শুধুমাত্র স্পটারিং রেটকেই নয়, ফিল্মের বৈদ্যুতিক এবং অপটিক্যাল বৈশিষ্ট্যগুলিকেও প্রভাবিত করে।টার্গেট ডেনসিটি যত বেশি হবে, ফিল্ম পারফরম্যান্স তত ভালো হবে।উপরন্তু, যখন লক্ষ্য ঘনত্ব এবং তীব্রতা উত্থাপিত হয়, লক্ষ্য স্পুটারিংয়ের সময় তাপীয় চাপ সহ্য করতে পারে।ঘনত্ব লক্ষ্য কর্মক্ষমতা সূচক এক.

শস্য আকার এবং আকার বিতরণ

সাধারণত লক্ষ্য পলিক্রিস্টালাইন হয়, এবং কণার আকার মাইক্রোমিটার থেকে মিলিমিটারের ক্রমে হতে পারে।একই টার্গেটের ক্ষেত্রে, সূক্ষ্ম-দানাযুক্ত লক্ষ্যের স্পুটারিং রেট মোটা দানাযুক্ত লক্ষ্যের স্পুটারিং হারের চেয়ে দ্রুত, যখন ছোট কণার আকারের স্পুটার ডিপোজিশন (অভিন্ন বন্টন) লক্ষ্যে একটি অভিন্ন বেধ বন্টন (ইউনিফর্ম) থাকে। .বিতরণ।