बेलनाकार टाइटेनियम स्पटरिंग लक्ष्य TA1 शुद्ध ज़िरकोनियम सामग्री

व्यास 60/65/95/100 * 30/32/40/45 मिमी टाइटेनियम एपटरिंग लक्ष्य

अनुकूलित टाइटेनियम लक्ष्य टाइटेनियम दौर लक्ष्य

आमतौर पर हम माल के साथ इस तरह की गुणवत्ता निरीक्षण रिपोर्ट प्रदान करेंगे,

जो रासायनिक संरचना और भौतिक गुणों को दर्शाता है

आपूर्ति टाइटेनियम वर्ग लक्ष्य, टाइटेनियम गोल लक्ष्य, टाइटेनियम विशेष आकार का लक्ष्य

शुद्धता लक्ष्य के मुख्य प्रदर्शन संकेतकों में से एक है,

क्योंकि लक्ष्य की शुद्धता का पतली फिल्म के प्रदर्शन पर बहुत प्रभाव पड़ता है।

लक्ष्य की मुख्य प्रदर्शन आवश्यकताएं:
पवित्रता
शुद्धता लक्ष्य के मुख्य प्रदर्शन संकेतकों में से एक है, क्योंकि लक्ष्य की शुद्धता का पतली फिल्म के प्रदर्शन पर बहुत प्रभाव पड़ता है।हालांकि, व्यावहारिक अनुप्रयोगों में, लक्ष्य की शुद्धता की आवश्यकताएं समान नहीं होती हैं।उदाहरण के लिए, माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक उद्योग के तेजी से विकास के साथ, सिलिकॉन वेफर का आकार 6", 8" से 12" तक विकसित किया गया है, और तारों की चौड़ाई 0.5um से घटाकर 0.25um, 0.18um या कर दी गई है। यहां तक ​​कि 0.13um। पहले, लक्ष्य शुद्धता 99.995% थी। यह 0.35um आईसी की प्रक्रिया आवश्यकताओं को पूरा कर सकता है, जबकि 0.18um लाइनों की तैयारी के लिए लक्ष्य सामग्री की शुद्धता के लिए 99.999% या यहां तक ​​कि 99.9999% की आवश्यकता होती है।
अशुद्धता सामग्री
लक्षित ठोस पदार्थों में अशुद्धियाँ और ऑक्सीजन और छिद्रों में नमी जमा फिल्मों के लिए संदूषण के मुख्य स्रोत हैं।विभिन्न अशुद्धता सामग्री के लिए विभिन्न उपयोगों के लक्ष्यों की अलग-अलग आवश्यकताएं होती हैं।उदाहरण के लिए, अर्धचालक उद्योग में उपयोग किए जाने वाले शुद्ध एल्यूमीनियम और एल्यूमीनियम मिश्र धातु लक्ष्य में क्षार धातु सामग्री और रेडियोधर्मी तत्व सामग्री के लिए विशेष आवश्यकताएं होती हैं।
घनत्व
लक्ष्य ठोस में छिद्रों को कम करने और स्पटर फिल्म के प्रदर्शन में सुधार करने के लिए, लक्ष्य को आमतौर पर उच्च घनत्व की आवश्यकता होती है।लक्ष्य का घनत्व न केवल स्पटरिंग दर को प्रभावित करता है, बल्कि फिल्म के विद्युत और ऑप्टिकल गुणों को भी प्रभावित करता है।लक्ष्य घनत्व जितना अधिक होगा, फिल्म का प्रदर्शन उतना ही बेहतर होगा।इसके अलावा, लक्ष्य के घनत्व और ताकत में वृद्धि से लक्ष्य को स्पटरिंग के दौरान थर्मल तनाव का बेहतर ढंग से सामना करने की अनुमति मिलती है।घनत्व भी लक्ष्य के प्रमुख प्रदर्शन संकेतकों में से एक है।
अनाज का आकार और अनाज के आकार का वितरण
आमतौर पर लक्ष्य सामग्री पॉलीक्रिस्टलाइन संरचना की होती है, और अनाज का आकार माइक्रोमीटर से मिलीमीटर के क्रम में हो सकता है।समान लक्ष्य सामग्री के लिए, महीन अनाज वाले लक्ष्य की स्पटरिंग दर मोटे अनाज वाले लक्ष्य की तुलना में तेज़ होती है;जबकि छोटे दाने के आकार के अंतर (समान वितरण) के साथ लक्ष्य के स्पटरिंग द्वारा जमा की गई पतली फिल्म की मोटाई वितरण अधिक समान है।