99,999% pureza alta que engasga o titânio elementar experimental do alvo Gr1 do titânio

Alto-pureza do alvo 99,999% do titânio que engasga o titânio elementar experimental do alvo

Alvo redondo personalizado do titânio do alvo do titânio

Geralmente nós forneceremos um relatório de inspeção da qualidade como esta os bens,

qual mostra a composição quimica e as propriedades físicas

Alvo quadrado do titânio, alvo redondo do titânio, alvo especial da forma do titânio

A pureza é um dos indicadores de desempenho do alvo.

A pureza do material de alvo tem um grande efeito no desempenho do filme.

Exigências de desempenho principais para alvos:

Pureza

A pureza do alvo é um dos indicadores de desempenho principais do alvo porque a pureza do alvo afeta extremamente o desempenho do filme. Contudo, em aplicações reais, as exigências para a pureza do material de alvo não são as mesmas. Por exemplo, com o desenvolvimento rápido da microeletrônica a indústria que o tamanho da bolacha de silicone foi expandido de 6", 8" a 12", a largura prendendo foi reduzida de 0,5 um a 0,25 um, a 0,18 um, e a 0,13 um. Previamente, a pureza do alvo era 99,995%.

Índice de impureza

A fonte principal do filme depositado é o oxigênio e a umidade dos sólidos e dos poros do alvo. Os alvos para várias aplicações têm exigências diferentes para níveis de impureza diferentes. Por exemplo, os alvos das ligas de alumínio e de alumínio puras usadas na indústria do semicondutor têm exigências especiais para o índice alcalino e o índice do elemento radioativo.

Densidade

A fim reduzir os poros dos sólidos do alvo e melhorar o desempenho de filmes engasgados, os alvos precisam tipicamente de ser mais densamente. A densidade do alvo afeta não somente a taxa engasgar mas as propriedades igualmente elétricas e óticas do filme. Mais alta a densidade do alvo, melhor o desempenho do filme. Além, quando a densidade do alvo e a intensidade são levantadas, o alvo pode suportar o esforço térmico durante engasgar. A densidade é um dos indicadores de desempenho do alvo.

Tamanho de grão e distribuição de tamanho

Geralmente o alvo é policristalino, e o tamanho de partícula pode estar na ordem de micrômetros ao milímetro. No caso do mesmo alvo, a taxa engasgar do alvo de grãos finos é mais rápida do que a taxa engasgar do alvo grained grosseiro, quando o depósito do salpico do alvo do tamanho de partícula menor (distribuição uniforme) tiver uma distribuição uniforme da espessura (uniforme). Distribuição.