ความบริสุทธิ์สูง 99.999% เป้าหมายไทเทเนียมสปัตเตอร์ Gr1 ธาตุไทเทเนียมทดลอง

เป้าหมายไทเทเนียม 99.999% ความบริสุทธิ์สูงเป้าหมายสปัตเตอร์เป้าหมายธาตุไทเทเนียมทดลอง

เป้าหมายไทเทเนียมแบบกำหนดเอง Titanium Round Target

โดยปกติเราจะจัดทำรายงานการตรวจสอบคุณภาพเช่นนี้พร้อมกับสินค้า

ซึ่งแสดงองค์ประกอบทางเคมีและคุณสมบัติทางกายภาพ

เป้าสี่เหลี่ยมไทเทเนียม เป้ากลมไทเทเนียม เป้ารูปร่างพิเศษไทเทเนียม

ความบริสุทธิ์เป็นหนึ่งในตัวชี้วัดประสิทธิภาพเป้าหมาย

ความบริสุทธิ์ของวัสดุเป้าหมายมีผลอย่างมากต่อประสิทธิภาพของภาพยนตร์

ข้อกำหนดด้านประสิทธิภาพหลักสำหรับเป้าหมาย:

ความบริสุทธิ์

ความบริสุทธิ์ของเป้าหมายเป็นหนึ่งในตัวชี้วัดประสิทธิภาพหลักของเป้าหมาย เนื่องจากความบริสุทธิ์ของเป้าหมายส่งผลต่อประสิทธิภาพของภาพยนตร์อย่างมากอย่างไรก็ตาม ในการใช้งานจริง ข้อกำหนดสำหรับความบริสุทธิ์ของวัสดุเป้าหมายไม่เหมือนกันตัวอย่างเช่น ด้วยการพัฒนาอย่างรวดเร็วของอุตสาหกรรมไมโครอิเล็กทรอนิกส์ ขนาดของแผ่นเวเฟอร์ซิลิกอนขยายจาก 6 ", 8" เป็น 12 " ความกว้างของสายไฟลดลงจาก 0.5 um เป็น 0.25 um, 0.18 um และ 0.13 um ก่อนหน้านี้ ความบริสุทธิ์เป้าหมายคือ 99.995%

เนื้อหาสิ่งเจือปน

แหล่งที่มาหลักของฟิล์มที่สะสมคือออกซิเจนและความชื้นของของแข็งและรูพรุนเป้าหมายเป้าหมายสำหรับการใช้งานที่หลากหลายมีข้อกำหนดที่แตกต่างกันสำหรับระดับสิ่งเจือปนที่แตกต่างกันตัวอย่างเช่น เป้าหมายของอะลูมิเนียมบริสุทธิ์และโลหะผสมอะลูมิเนียมที่ใช้ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์มีข้อกำหนดพิเศษสำหรับปริมาณโลหะอัลคาไลและองค์ประกอบกัมมันตภาพรังสี

ความหนาแน่น

เพื่อลดรูพรุนของของแข็งเป้าหมายและปรับปรุงประสิทธิภาพของฟิล์มที่สปัตเตอร์ โดยทั่วไปเป้าหมายจะต้องมีความหนาแน่นมากขึ้นความหนาแน่นเป้าหมายไม่เพียงส่งผลต่ออัตราการสปัตเตอร์เท่านั้น แต่ยังส่งผลต่อคุณสมบัติทางไฟฟ้าและทางแสงของฟิล์มด้วยยิ่งเป้าหมายมีความหนาแน่นสูง ประสิทธิภาพของฟิล์มก็จะยิ่งดีขึ้นเท่านั้นนอกจากนี้ เมื่อเพิ่มความหนาแน่นและความเข้มของเป้าหมาย เป้าหมายสามารถทนต่อความเครียดจากความร้อนในระหว่างการสปัตเตอร์ได้ความหนาแน่นเป็นหนึ่งในตัวชี้วัดประสิทธิภาพเป้าหมาย

ขนาดเกรนและการกระจายขนาดเมล็ดพืช

โดยปกติชิ้นงานเป้าหมายจะเป็นคริสตัลไลน์ และขนาดอนุภาคอาจอยู่ในลำดับไมโครเมตรถึงมิลลิเมตรในกรณีของเป้าหมายเดียวกัน อัตราการสปัตเตอร์ของเป้าหมายที่มีเนื้อละเอียดจะเร็วกว่าอัตราการสปัตเตอร์ของเป้าหมายที่มีเนื้อหยาบหยาบ ในขณะที่เป้าหมายที่มีขนาดอนุภาคเล็กกว่า (การกระจายสม่ำเสมอ) มีการกระจายความหนาสม่ำเสมอ (สม่ำเสมอ) .การกระจาย.