99.999% het Doelgr1 Experimenteel Elementair Titanium van het hoge Zuiverheids Sputterend Titanium

Titaniumdoel 99,999% high-purity sputterend doel experimenteel elementair titanium

Het aangepaste Titanium van het Titaniumdoel om Doel

Gewoonlijk zullen wij een kwaliteitscontrolerapport als dit van de goederen voorzien,

welke de chemische samenstelling en de fysische eigenschappen toont

Titanium vierkant doel, titanium om doel, doel van de titanium het speciale vorm

De zuiverheid is één van de doelprestatie-indicators.

De zuiverheid van het doelmateriaal heeft een groot effect op de prestaties van de film.

Hoofdprestatie-eisen voor doelstellingen:

Zuiverheid

De zuiverheid van het doel is één van de belangrijkste prestatie-indicators van het doel omdat de zuiverheid van het doel zeer de prestaties van de film beïnvloedt. Nochtans, in daadwerkelijke toepassingen, zijn de eisen ten aanzien van zuiverheid van het doelmateriaal niet hetzelfde. Bijvoorbeeld, met de snelle ontwikkeling van de micro-elektronicaindustrie werd de grootte van het siliciumwafeltje uitgebreid van 6 „, 8“ aan 12“, werd de bedradingsbreedte verminderd van 0,5 um aan 0,25 um, 0,18 um, en 0,13 um. Eerder, was de doelzuiverheid 99,995%.

Onzuiverheidsinhoud

De belangrijkste bron van de gedeponeerde film is de zuurstof en de vochtigheid van de de doelvaste lichamen en poriën. De doelstellingen voor diverse toepassingen hebben verschillende eisen ten aanzien van verschillende onzuiverheidsniveaus. Bijvoorbeeld, hebben wordt gebruikt de doelstellingen van zuivere die aluminium en aluminiumlegeringen in de halfgeleiderindustrie speciale eisen ten aanzien van alkali-metal inhoud en radioactieve elementeninhoud.

Dichtheid

om de poriën van de doelvaste lichamen te verminderen en de prestaties van gesputterde films te verbeteren, moeten de doelstellingen typisch dichter zijn. De doeldichtheid beïnvloedt niet alleen het het sputteren tarief maar ook de elektrische en optische eigenschappen van de film. Hoger de doeldichtheid, beter de filmprestaties. Bovendien wanneer de doeldichtheid en de intensiteit worden opgeheven, kan het doel de thermische spanning tijdens het sputteren weerstaan. De dichtheid is één van de doelprestatie-indicators.

Korrelgrootte en groottedistributie

Gewoonlijk is het doel polycrystalline, en de deeltjesgrootte kan in de orde van micrometers aan millimeter zijn. In het geval van hetzelfde doel, is het het sputteren tarief van het doel met fijne korrels sneller dan het het sputteren tarief van het grofkorrelige doel, terwijl deposito van doel sputter het van de kleiner deeltjesgrootte (eenvormige distributie) een eenvormige (eenvormige) diktedistributie heeft. Distributie.