Cylindryczny cel do rozpylania tytanu TA1 Czysty materiał cyrkonowy

Średnica 60/65/95/100*30/32/40/45mm tytanowy cel aperowania

Dostosowany cel tytanowy Okrągły cel tytanowy

Zwykle dostarczamy taki raport z kontroli jakości towarów,

który pokazuje skład chemiczny i właściwości fizyczne

Dostarcz tytanowy cel kwadratowy, tytanowy okrągły cel, tytanowy cel o specjalnym kształcie

Czystość jest jednym z głównych wskaźników wydajności celu,

ponieważ czystość celu ma duży wpływ na wydajność cienkiej folii.

Główne wymagania dotyczące wydajności celu:
czystość
Czystość jest jednym z głównych wskaźników wydajności tarczy, ponieważ czystość tarczy ma duży wpływ na wydajność cienkiej folii.Jednak w praktycznych zastosowaniach wymagania dotyczące czystości celu nie są takie same.Na przykład, wraz z szybkim rozwojem przemysłu mikroelektronicznego, rozmiar płytki krzemowej został opracowany z 6”, 8” do 12”, a szerokość okablowania została zmniejszona z 0,5um do 0,25um, 0,18um lub nawet 0,13um.Wcześniej czystość docelowa wynosiła 99,995%.Może spełnić wymagania procesu 0,35um IC, podczas gdy przygotowanie linii 0,18um wymaga 99,999% lub nawet 99,9999% dla czystości materiału docelowego.
Zawartość zanieczyszczeń
Zanieczyszczenia w docelowych ciałach stałych oraz tlen i wilgoć w porach są głównymi źródłami zanieczyszczenia osadzanych filmów.Obiekty o różnych zastosowaniach mają różne wymagania dla różnych zawartości zanieczyszczeń.Na przykład tarcze z czystego aluminium i stopów aluminium stosowane w przemyśle półprzewodników mają specjalne wymagania dotyczące zawartości metali alkalicznych i zawartości pierwiastków promieniotwórczych.
gęstość
W celu zmniejszenia porów w docelowym ciele stałym i poprawy wydajności napylonej warstewki, tarcza zwykle musi mieć wyższą gęstość.Gęstość celu wpływa nie tylko na szybkość rozpylania, ale także na właściwości elektryczne i optyczne błony.Im wyższa gęstość docelowa, tym lepsza wydajność filmu.Ponadto zwiększenie gęstości i wytrzymałości celu pozwala celowi lepiej wytrzymać naprężenia termiczne podczas rozpylania.Gęstość jest również jednym z kluczowych wskaźników wydajności celu.
Wielkość ziarna i rozkład wielkości ziarna
Zazwyczaj materiał docelowy ma strukturę polikrystaliczną, a wielkość ziarna może być rzędu mikrometrów do milimetrów.Dla tego samego materiału celu, szybkość rozpylania celu z drobnymi ziarnami jest większa niż celu z grubymi ziarnami;natomiast rozkład grubości cienkiej warstwy nałożonej przez napylanie tarczy o mniejszej różnicy wielkości ziarna (rozkład równomierny) jest bardziej równomierny.