99,999% wysokiej czystości napylania tytanowego celu Gr1 Experimental Elemental Titanium

Tytanowy cel 99,999% cel napylania o wysokiej czystości eksperymentalny elementarny tytan

Dostosowany cel tytanowy Okrągły cel tytanowy

Zwykle dostarczamy taki raport z kontroli jakości towarów,

który pokazuje skład chemiczny i właściwości fizyczne

Tytanowy cel kwadratowy, tytanowy okrągły cel, tytanowy cel o specjalnym kształcie

Czystość jest jednym z docelowych wskaźników wydajności.

Czystość materiału docelowego ma duży wpływ na wydajność folii.

Główne wymagania dotyczące wydajności dla celów:

Czystość

Czystość tarczy jest jednym z głównych wskaźników wydajności tarczy, ponieważ czystość tarczy ma duży wpływ na wydajność filmu.Jednak w rzeczywistych zastosowaniach wymagania dotyczące czystości materiału docelowego nie są takie same.Na przykład wraz z szybkim rozwojem przemysłu mikroelektronicznego Rozmiar płytki krzemowej został zwiększony z 6”, 8” do 12”, szerokość okablowania została zmniejszona z 0,5 um do 0,25 um, 0,18 um i 0,13 um. czystość docelowa wynosiła 99,995%.

Zawartość zanieczyszczeń

Głównym źródłem osadzonego filmu jest tlen i wilgoć docelowych ciał stałych i porów.Tarcze do różnych zastosowań mają różne wymagania dla różnych poziomów zanieczyszczeń.Na przykład tarcze z czystego aluminium i stopów aluminium stosowane w przemyśle półprzewodników mają specjalne wymagania dotyczące zawartości metali alkalicznych i zawartości pierwiastków promieniotwórczych.

Gęstość

W celu zmniejszenia porów docelowych ciał stałych i poprawy wydajności napylonych filmów, cele zazwyczaj muszą być gęstsze.Gęstość docelowa wpływa nie tylko na szybkość rozpylania, ale także na właściwości elektryczne i optyczne folii.Im wyższa gęstość docelowa, tym lepsza wydajność filmu.Ponadto, gdy gęstość i intensywność celu są podniesione, cel może wytrzymać naprężenie termiczne podczas rozpylania.Gęstość jest jednym z docelowych wskaźników wydajności.

Wielkość ziarna i rozkład wielkości

Zazwyczaj cel jest polikrystaliczny, a wielkość cząstek może być rzędu mikrometrów do milimetrów.W przypadku tego samego celu szybkość napylania celu drobnoziarnistego jest większa niż szybkość napylania celu gruboziarnistego, podczas gdy osadzanie napylania celu o mniejszym rozmiarze cząstek (równomierny rozkład) ma równomierny rozkład grubości (równomierny) .Dystrybucja.