مواد زیرکونیوم خالص هدف TA1 تیتانیوم استوانه ای

قطر 60/65/95/100*30/32/40/45 میلی‌متر هدف برش تیتانیوم

هدف سفارشی تیتانیوم هدف گرد تیتانیوم

معمولاً ما یک گزارش بازرسی کیفی مانند این را با کالا ارائه می دهیم،

که ترکیب شیمیایی و خواص فیزیکی را نشان می دهد

هدف مربع تیتانیوم، هدف گرد تیتانیوم، هدف تیتانیوم شکل خاص را تامین کنید

خلوص یکی از شاخص های اصلی عملکرد هدف است،

زیرا خلوص هدف تأثیر زیادی بر عملکرد لایه نازک دارد.

الزامات عملکرد اصلی هدف:
خلوص
خلوص یکی از شاخص های اصلی عملکرد هدف است، زیرا خلوص هدف تأثیر زیادی بر عملکرد لایه نازک دارد.با این حال، در کاربردهای عملی، الزامات برای خلوص هدف یکسان نیست.به عنوان مثال، با توسعه سریع صنعت میکروالکترونیک، اندازه ویفر سیلیکونی از 6، 8 اینچ به 12، و عرض سیم کشی از 0.5um به 0.25um، 0.18um یا کاهش یافته است. قبل از این، خلوص هدف 99.995 درصد بود.این می تواند الزامات فرآیند IC 0.35um را برآورده کند، در حالی که آماده سازی خطوط 0.18um به 99.999٪ یا حتی 99.9999٪ برای خلوص ماده مورد نظر نیاز دارد.
محتوای ناخالصی
ناخالصی ها در جامدات هدف و اکسیژن و رطوبت در منافذ منابع اصلی آلودگی فیلم های رسوب شده هستند.اهداف مصارف مختلف برای محتویات ناخالصی مختلف نیازمندی های متفاوتی دارند.به عنوان مثال، اهداف آلومینیم خالص و آلیاژ آلومینیوم مورد استفاده در صنعت نیمه هادی دارای الزامات خاصی برای محتوای فلز قلیایی و محتوای عناصر رادیواکتیو هستند.
تراکم
به منظور کاهش منافذ در جامد هدف و بهبود عملکرد فیلم پراکنده شده، معمولاً هدف مورد نیاز است که چگالی بالاتری داشته باشد.چگالی هدف نه تنها بر سرعت کندوپاش، بلکه بر خواص الکتریکی و نوری فیلم نیز تأثیر می گذارد.هرچه چگالی هدف بیشتر باشد، عملکرد فیلم بهتر است.علاوه بر این، افزایش چگالی و استحکام هدف باعث می شود که هدف در هنگام کندوپاش در برابر تنش حرارتی بهتر مقاومت کند.تراکم نیز یکی از شاخص های کلیدی عملکرد هدف است.
اندازه دانه و توزیع اندازه دانه
معمولاً ماده مورد نظر از ساختار پلی کریستالی است و اندازه دانه می تواند از میکرومتر تا میلی متر باشد.برای همان ماده هدف، سرعت کندوپاش هدف با دانه‌های ریز سریع‌تر از هدف با دانه‌های درشت است.در حالی که توزیع ضخامت لایه نازک رسوب شده توسط کندوپاش هدف با اختلاف اندازه دانه کوچکتر (توزیع یکنواخت) یکنواخت تر است.